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更新时间：2023-06-17 16:24:08 浏览次数：318次

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经营模式：其他

商铺产品：2条

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产品简介

2C万喜堂彩票注册开户 XMCA-800A

详细介绍

  • 基片尺寸
    ψ50mm～ψ200mm
  • Cassette 晶舟
    2-4个晶舟
  • Coater Unit 涂胶单元
    1、PR类型：正胶/ 负胶 ；2、光刻胶喷头 2 ~ 4 个； 3、EBR ( Edge Bead Remover )； 4、马达旋转速度 Max. 6,000rpm； 5、高精度定量泵浦≦0.1cc ( 100cp以下)
  • Robot Arm 机械手臂
    3轴; X1, X2, X3
  • Hot Plate热盘单元
    溫度50℃-180℃
  • Cooling Plate冷盘单元
    溫度18-28℃
  • 显影机基片尺寸
    ψ50mm～ψ300mm
  • Developer 显影单元
    1、可应用喷头 Spray, Stream, E2 , H ；2、马达旋转速度 Max. 5,000rpm
  • 显影机台尺寸
    D(1200+1820)XW1700XH2300(mm)

    • 关键词：机械手 显影机
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