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IGBT及其派生器件
例如:IGCT,是MOS和双极集成的混合型半导体功率器件。因此,IGBT的失效模式,既有其子器件MOS和双极的*失效模式,还有混合型*的失效模式。MOS是静电极敏感器件,因此,IGBT也是静电极敏感型器件,其子器件还应包括静电放电(SED)防护器件。据报道,失效的半导体器件中,由静电放电及相关原因引起的失效,占很大的比例。例如:汽车行业由于失效而要求退货的器件中,其中由静电放电引起的失效就占约30%。本文通过案例和实验,概述IGBT及其子器件的四种失效模式:(1) MOS栅击穿;(2) IGBT——MOS阈值电压漂移;(3) IGBT寿命期内有限次连续短路脉冲冲击的累积损伤;(4) 静电放电保护用高压npn管的硅熔融。
MOS栅击穿IGBT器件的剖面和等效电路见图1。由图1可见,IGBT是由一个MOS和一个npnp四层结构集成的器件。而MOS是金属—氧化物—半导体场效应管的简称。其中,氧化物通常是硅衬底上氧化而生成的SIO2,有时还迭加其他的氧化物层,例如Si3N4,Al2O3。通常设计这层SiO2的厚度ts:微电子系统:ts<1000A电力电子系统:ts≥1000A。SiO2,介质的击穿电压是1×1019V/m。那么,MOS栅极的击穿电压是100V左右。人体产生的静电强度U:湿度:10-20%,U>18000V;60-90%时,U≥1500V。上述数据表明,不附加静电保护的MOS管和MOS集成电路(IC),只要带静电的人体接触它,MOS的绝缘栅就一定被击穿。案例:上世纪六十年代后期,某研究所研制的MOS管和MOS集成电路。不管是安装在印刷电路板上还是存放在盒中的此种器件,都出现莫名其妙的失效。因此,给MOS一个绰号:摸死管。如果这种“摸死”问题不解决,我国*台具有自主知识产权的MOS集成电路微型计算机就不可能在1969年诞生。经过一段时间的困惑,开始怀疑静电放电的作用。为了验证,准备了10支栅极无任何防护的MOS管,用晶体管特性测试仪重新测试合格后,即时将该器件再往自己身上摩擦一下再测特性,结果发现:*栅击穿!随后,在MOS管的栅极一源极之间反并联一个二极管,问题就基本解决。意外的结果:“摸死管”成了一句引以为戒的警语。该研究所内接触和应用MOS管MOS-IC的同事,对静电放电对器件的破坏性影响都有了深刻的体验。
IGBT寿命期限内,有限次数短路脉冲冲击的累积损伤失效 在寿命期限内,IGBT会遇到在短路、雪崩等恶劣条件下工作,它能承受短路脉冲冲击的次数是有限的,并和相关条件有关。4.1非穿通型(NPT)IGBT的鲁棒性NPT—IGBT的鲁棒性见图5,被测器件是SGW15N120。在540V 125℃时测试。X轴是耗散的能量。Y轴是器件直至损坏的短路周期次数。由图5可见,在给定条件下,器件有一个临界能量:EC=V·I·TSC=1.95J(焦耳)式中,TSC是短路持续时间当E>EC时,,*次短路就使器件失效。当E
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