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电液伺服阀与电液比例阀zui大的差别在于电机械转换器。比例阀电2机械转换器采用比例电磁铁,因此不论其是否带检测元件（反馈闭环） ,它的控制电流较大,从几百毫安到1～2 安培均有。故放大器功率大、价格高,且相对容易烧管子。这抵消了比例阀机械部件精度相对较低带来的价格优势,综合可靠性较低。

伺服阀,不论是射流管式还是双喷嘴档板式,其控制电流只需几毫安到几十毫安,控制功率很小,一般为几十毫瓦到一、二百毫瓦。伺服放大器价格低廉、故障率低。动圈式伺服阀控制电流相对较大,从几十毫安到上百毫安。

加工精度比例阀结构相对简单,同时考虑到加工成本问题,加工精度要求较低,一般为10μ级,而且一般没有阀套,且其零位死区和滞环大,频响较低,比较适合用在控制精度不高的开环控制工业场合。伺服阀一般加工精度为μ级,采用阀芯、阀套、阀体的配合方式,阀芯和阀套为单配,间隙为2～4μm。阀芯和阀套窗口之间采用气动配磨或液压配磨方式,无死区,滞环小,频响高。

功率级阀芯驱动力

有前置级液压放大器的伺服阀,无论是射流放大器还是喷嘴挡板放大器,其产生阀芯驱动力都要比比例电磁铁大得多（高一个数量级） 。就这个意义上讲,伺服阀阀芯卡滞的几率比比例阀小。特别是射流管伺服阀的射流放大器因为没有压力负反馈,前置级流量增益与压力增益都较高,推动阀芯的力更大,所以伺服阀有更高的分辨率和较小的滞环。