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2023年06月15日 10:35:28人气:542来源:上海智与懋检测仪器设备有限公司

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导体和精密电子制造厂对内部的温度、湿度和洁净度等有着及其特殊的要求,其生产必须在高洁净度的洁净室中进行的。没有洁净的生产条件,会妨碍产品的功能,或者会降低产品的使用寿命,甚至毁坏半导体。因此,对洁净室进行测试,确保其各项参数达到并继续保持在设计标准范围内是半导体和精密电子等制造业*****的生命线,

洁净室内温度的影响主要是从产品精度,合格率以及污染的角度(温度升高后,会引起人出汗,汗水会对产品产生污染,特别是怕钠的半导体车间)来考虑的。越精细、集成度高的电子加工,对温度的敏感性越大。

湿度太高会使物体表面的灰尘难以清除,但是相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于物体表面,静电会使半导体器件发生击穿。

按照半导体生产工艺的特点,洁净室一般温度控制在20-25℃,湿度控制在50-60%RH,这个范围不但满足了生产工艺的要求,而且人在这样的环境下也感到舒服。

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可广泛应用于实验室、仓储环境、芯片制造车间、制药生产洁净区等环境的高精度温湿度远程监测。

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